제품소개

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AIN Heater

스미토모전기공업주식회사 회사 개요
  • 스미토모전기공업주식회사
  • 창업：1897년　4월
  • 자본금：99,737백만엔
  • 매출：2조1599억엔(FY2012)
  • 종업원：206,323인 (2013년)
  • 주요５사업분야
  • 자동차, 정보통신,전자 공학
  • 전선・기재・에너지 ・산업소재

계열사 　353사（국내115사, 해외238사）
한국 내 공장 4곳

세라믹 히터
  • 제조 거점：이타미 제작소（효고현）
  • 판매 거점：도쿄・오사카
  • 한국 ：JSP전자
AlN Heater 의 타입
사양온도
  히터 온도 Uniformity Heater Pattern
고온 영역 ~800℃ <± 1% 2 Zones
중온 영역 ~550℃ <± 0.5% 1~6 Zone
구조설계
  AlN Shaft 타입
구 조
특 징 Shaft내 가스 Purge 불 필요
Core기술과 제품 특징
고도의 재료 기술
CVD 다이아 기판 AIN 금속 재료 CuW,CuMo 복합 재료 Al-SiC,Si-SiC
구조 설계
제품 설계 (Simulation기술 에 의한 개발 기간 단축)
프로세스 기술
평가 체재
Low Temperature Heater
사용온도
  Heater Temp Uniformity Heater Pattern
Low Temp ~200℃ <± 0.5% 1~Multi Zones
구조설계
Design Material Heater
Circuit		 Heater
Plate		 Peripheral
Technology
Thermal Stress
Simulation Fluid Analysis

4D Thermal
Transient 		Pure AlN
Composite
Material

CuW

CuMo

Various Coating 		Heating Element
Etching Multi-Zone Heater

Heater Circuit
Laminating
Technology 		High-Precision
Machining Ceramics
Electro-Discharge
Machining

Heater-plate
Bonding
Technology

Channel
Constitution
In Ceramic Plate 		Cooling Module

Ultra-cooling
Module
（-60℃～）